Signalverarbeitung zur Inline-Prozessüberwachung für koaxial integrierte Messtechnik in der Lasermikrostrukturierung

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Authors: Rouwen Kunze, Philipp Bredol, Robert Schmitt

Journal title: at - Automatisierungstechnik

Journal number: 65/6

Journal publisher: Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH

Published year: 2017

Published pages: 416-425

DOI identifier: 10.1515/auto-2017-0011

ISSN:0178-2312